7月14日,淄博市生态情况局桓台分局受理了山东东岳绿冷科技有限公司含氟电子特气优化革新项目并予以公示。
项目名称:含氟电子特气优化革新项目;
设置装备摆设所在:山东东岳绿冷科技有限公司现有南厂区内;设置装备摆设投资:500万元;设置装备摆设性子:新建;设置装备摆设单元:山东东岳绿冷科技有限公司;设置装备摆设内容和范围:设置装备摆设1条40吨/年电子特气出产线,包括电子级三氟甲烷 20t/a、电子级八氟环丁烷20t/a。电子特种气体是半导体系体例造的要害原质料,重要运用在光刻、刻蚀、成膜、洗濯、掺杂、沉积等工艺环节。最近几年来,中国电子特种气体市场范围连续增加,将来有较年夜成长空间。
于此配景下,山东东岳绿冷科技有限公司依托自身于氟化工范畴的技能堆集,在2023年4月投资设置装备摆设年产40吨含氟电子特气质料项目,今朝该项目已经验收。
为进一步掌握市场机缘,扩展该范畴市场份额,该公司拟新增投资500 万元设置装备摆设“山东东岳绿冷科技有三木SEO-限公司含氟电子特气优化革新项目”。
来历:氟化工
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